第245章;试验成功
“先把块状的高纯度复晶硅置于石英坩锅内,加热使其溶化!”周继龙按动机器的按钮,熊老和柴老都都过玻璃窗看着里面的变化!
“老周、温度达到多少了!”熊老看着石英锅里稍微有点变化的高纯度复硅晶,将目光看向了一旁的周继龙!
“刚刚1000摄氏度,还没有达到完全融化点,温度在持续上升中!”
很快温度就达到了高纯度复晶硅的熔点1420摄氏度,融化程度明显加快了,不多时石英坩埚里的复硅晶已经完全融化!
“晶棒的制作一定要小心、插入的时候小心点,温度也要控制好!”
随着时间的推移,一根完美的晶棒慢慢地呈现在了众人的面前!
“老周晶棒达到12寸了没有!”柴老一脸紧张的看着正在机器测量晶棒!
“达到了!而且非常的均匀、切掉头尾、其他的都是12寸!”
“好!”熊老等人无不拍手称好。
“开始下面的流程吧!等我们把成品做出来了诸位在开心也不迟!”熊老的话让周继龙和柴老瞬间都安静了、平息了心里的激动,又开始了接下来操作!
先是把外径打磨一下,因为制造的时候难免会有一些误差,就造成晶棒外园柱面凹凸不平,所以必须对外径进行修整、研磨,使其尺寸、形状误差均小于允许偏差!
由于制造工艺的缘故,所以周继龙就简单的打磨一下就好了!
接着又经过了切割、研磨、蚀刻、去疵、抛光、清洗等诸多的流程,二十块精美的晶圆片就出现在了几人的面前!
“老…老周!你…你快检查一下、这…这块晶圆片是否达到规定的尺寸、形状、表面光洁度、平整度等技术指标,一定要仔细检查好了!”柴老看着面前的晶圆片、一时间说话都有点结结巴巴的啦!
“一定要仔细的检查一遍,还有就是工艺流程我们等下也要在好好琢磨一下,我们制造二十块就花了一个多小时、要想达成量产,以我们现在的速度、完全是痴心妄想!”
“嗯、放心吧!我马上检测一下!”周继龙说完就把晶圆拿出来仔细的检测了起来。
很快周继龙就是一脸兴奋的说道:“完全没有问题,我相信绝对是达到了世界级水平!”
“真的!”几道声音不约而同地响了起来!
“嗯!”周继龙重重的点了点头!
“好、我们在制造几次,看晶圆片的良品率是不是一直这么高!”
“好!”周继龙把晶圆片小心翼翼的放好,就继续操作了起来,很快生产线又开始了运作,更具设定好的参数、这一次更快了!
没用到40分钟就制造出来了第二批次,不过周继龙的脸色并不太好!
“怎么了?老周、是出现什么情况了吗?”
“有点不规则、可能是刚才打磨的时候
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